- Visión General
- Descripción del producto
- Parámetros del producto
- Perfil de la empresa
Información Básica.
Descripción de Producto
Máquina de recubrimiento PVD de vacío de magnetrón RF de doble objetivo para semiconductores Películas
El coater de esputo de magnetrón RF de doble objetivo es un equipo de recubrimiento de esputo de magnetrón rentable desarrollado independientemente por nuestra empresa. Es estandarizado, modular y personalizable. Hay objetivos de magnetrón de 1 o 2 pulgadas para que usted elija. Los clientes pueden elegir el objetivo según el tamaño del sustrato que se va a revestir. El dispositivo está equipado con dos fuentes de alimentación de RF 300W. La fuente de alimentación de CC se puede utilizar para la preparación de películas metálicas, y la fuente de alimentación de RF se puede utilizar para la preparación de no metálicos. Los dos objetivos pueden satisfacer las necesidades de recubrimientos múltiples o múltiples.
La máquina de recubrimiento está equipada con un caudalímetro de masa de alta precisión de dos canales. Si tiene otros requisitos, puede personalizar la ruta de gas de los caudalímetros de masa de hasta cuatro canales para cumplir con los complejos requisitos de construcción del entorno de gas. El instrumento está equipado con avanzados conjuntos de bombas turbomoleculares, el vacío final es de hasta 1,0E-5Pa, y otros tipos de bombas moleculares están disponibles para la compra. La trayectoria de gas de la bomba molecular se controla mediante múltiples válvulas solenoides, puede abrir la cámara para extraer la muestra sin apagar la bomba, lo que mejora considerablemente su eficiencia de trabajo. Este producto puede estar equipado con un ordenador industrial integrado para controlar el sistema. En el programa de computadora, la mayoría de las funciones como el control de la bomba de vacío y el control de potencia de pulverización pueden ser realizadas, lo que puede mejorar aún más su eficiencia experimental.
Aplicación de la herramienta de centrifumiento de magnetrón RF de doble objetivo:
Este dispositivo puede utilizarse para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleación, películas de semiconductores, películas de cerámica, Películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de PTFE, y similares. En comparación con equipos similares, el coater de esputtering de magnetrón de doble objetivo no solo se utiliza ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un pequeño tamaño y un funcionamiento sencillo, y es un equipo ideal para preparar películas de material en un laboratorio.
Parámetros técnicos del coater de espumación de magnetrón dc de doble objetivo:
| Etapa de muestra | Tamaño | φ185mm | Precisión de control de temperatura | ±1ºC. |
| Temperatura de calentamiento | Máx. 500ºC. | Velocidad de rotación | 1-20rpm ajustable | |
| Cabeza de objetivo de espumación de magnetrón | Cantidad | 2"×2 (1",2" opcional) | Enfriador de agua | Enfriador de agua circulante con caudal de 10L/min |
| Modo de refrigeración | Refrigeración por agua | |||
| Cámara de vacío | Tamaño de la cámara | φ300mm×300mm | Ventana de vigilancia | φ100mm |
| Material de la cámara | Acero inoxidable | Modo de apertura | Cubierta superior abierta | |
| Caudalímetro de masa | 2 canales; rango de medición 100SCCM; 100SCCM (se puede personalizar según las necesidades del cliente) | |||
| Sistema de vacío | Modelo | CY-GZK103-A | Interfaz de bombeo | KF40 |
| Bomba molecular | CY-600 | Interfaz de escape | KF16 | |
| Bomba de respaldo | bomba de paletas rotativas | Medición de vacío | Indicador de vacío compuesto | |
| Vacío final | 1,0E-5Pa | Fuente de alimentación | AC;220V 50/60Hz | |
| Velocidad de bombeo | Bomba molecular: Bomba de paletas rotativas 600L/S: 1,1L/S. Rendimiento de bombeo de gas integral: Vacío hasta 1,0E-3PA en 20 minutos | |||
| Configuración de alimentación | Cantidad | Fuente de alimentación RF×2 | Potencia de salida máxima | RF 300 W |
| Otros parámetros | Tensión de alimentación | ac220v,50Hz | Tamaño total | 600mm×650mm×1280mm |
| Potencia total | 2,5KW | Peso total | Alrededor de 300kg | |
P. ¿es usted un fabricante o una empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, con nuestro propio equipo de diseño y fábrica con una experiencia técnica madura, y podemos garantizar la calidad de los productos y el precio óptimo.
P. ¿Cómo es el sistema de servicio postventa de su empresa?
R. el período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar mantenimiento de por vida. Contamos con departamentos profesionales de preventa y posventa que pueden responder a usted en 24 horas para resolver cualquier problema técnico.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A.1. Si los bienes están en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Normalmente toma 30-60 días dependiendo de las especificaciones del instrumento personalizado.
P. el suministro de energía y el enchufe de nuestro país son diferentes. ¿Cómo lo solucionas?
R. podemos suministrar un transformador y enchufe de acuerdo con sus requisitos locales de acuerdo con el enchufe de alimentación de diferentes países.
P. ¿Cómo pagar?
A.T / T, L / C, D / P, ETC.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.1. Modelo de exportación fumigación signo de madera embalaje de cajas 2. Express, aire, transporte marítimo de acuerdo con las necesidades del cliente, encontrar la manera más adecuada.
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