Información Básica.
Descripción de Producto
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El tób-1100X-SPC-16M magnetrón sputtering Coater utiliza el efecto de sputtering producido por el bombardeo de partículas del material objetivo en un ambiente de vacío, lo que hace que los átomos o moléculas del material objetivo se disparen desde la superficie sólida, y el proceso de formar una película delgada se deposita en el sustrato. Pertenece a la preparación de la deposición de vapor físico (PVD) de la tecnología de película fina. El tintero de espumador de magnetrón TOB-1100X-SPC-16M puede usarse para la preparación de muestras de microscopio electrónico de barrido en el laboratorio, y el tamaño compacto del equipo ahorra espacio en el laboratorio; la operación es simple y adecuada para principiantes.
Características
- Está equipado con un medidor de vacío y un medidor de corriente de pulverización, que puede controlar el estado de funcionamiento en tiempo real.
- Al ajustar el controlador de corriente de pulverización y la válvula de gas de micro vacío, controla la presión de la cámara de vacío, la corriente de ionización y selecciona el gas de ionización necesario para obtener el mejor efecto de recubrimiento.
- El anillo de sellado de goma del borde de la campana está especialmente diseñado para garantizar que la campana de cristal no se astillará durante un uso prolongado.
- Los racores de electrodo de alta tensión sellados con cerámica son más duraderos que los sellos de goma que se utilizan normalmente.
- De acuerdo con las características de ionización del gas en el campo eléctrico, se utiliza una cámara de vacío de gran capacidad y una zona correspondiente del objetivo de pulverización para hacer la capa de pulverización más uniforme y pura.
- El cabezal de la cortadora utiliza la tecnología de refrigeración Peltier para obtener recubrimientos de partículas finas de alto rendimiento.
- Hay disponibles cabezales de esputadora refrigerados por agua y mesas de transporte refrigeradas por agua.
Nombre del producto | Máquina de revestimiento de espumación de magnetrón al vacío |
Modelo de producto | TOB-1100X-SPC-16M |
Condición de instalación | Este equipo debe usarse a una altitud de 1000m o menos, a una temperatura de 25ºC±15ºC y una humedad de 55%Rh±10%Rh. 1. agua: el equipo debe estar equipado con una máquina de agua de refrigeración autocirculante opcional (llenado de agua pura o agua desionizada) 2. Electricidad: ac220v 50Hz, debe tener una buena conexión a tierra 3. gas: cámara de equipos para llenarse con argón (pureza del 99,99% o más), necesita proporcionar su propia botella de gas argón (con válvula reductora de presión) 4. Mesa de trabajo: Tamaño 600mm×600mm×700mm, con carga 50kg o más. 5. Dispositivo de ventilación: No necesario |
Parámetro mayor | 1. Objetivo: Ø50mm |
2. Cámara de vacío: Ø160mm×120mm | |
≤. grado de vacío: 4 10×2mbar-3 | |
4, corriente máxima: 50mA (opcional 100mA) | |
5. Límite de tiempo se puede establecer: 9999s | |
6. Microválvula de vacío: Conecte la manguera de Ø3mm | |
7. Tensión límite: 1600V DC | |
8. Bomba mecánica: 2L/s | |
9. Material objetivo: Requisitos de tamaño:φ50mm×(0,1-0,5)mm(grosor) Adecuado para esputos de Au, AG, Cu y otros metales (disponible en nuestra empresa) | |
10. Tamaño: 360mm×300mm×380mm Peso total: 50kg, Peso neto: 15kg |
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